上海精科(物光)光电轮廓仪WGL 库号:RL118176 |
上海精科(物光)光电轮廓仪 WGL 特 点 由于仪器测量精度高,具有非接触和三维测量的特点,并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果,本仪器适用于各级测试、计量研究单位工矿企业计量室,精密加工车间,也适用于高等院校和科学研究单位等。 ■本仪器采用非接触、光学相移干涉测量方法,测量时不损伤工件表面,能快速测得各种工件 表面微观形貌的立体图形,并分析计算出测量结果。 ■适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙度;标尺、度盘的刻线深度 ■光栅的槽形结构镀层厚度和镀层边界处 |
上海精科(物光)光电轮廓仪 WGL
特 点
由于仪器测量精度高,具有非接触和三维测量的特点,并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果,本仪器适用于各级测试、计量研究单位工矿企业计量室,精密加工车间,也适用于高等院校和科学研究单位等。
■本仪器采用非接触、光学相移干涉测量方法,测量时不损伤工件表面,能快速测得各种工件
表面微观形貌的立体图形,并分析计算出测量结果。
■适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙度;标尺、度盘的刻线深度
■光栅的槽形结构镀层厚度和镀层边界处的结构形貌
■磁(光)盘、磁头表面结构测量;硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。
参数名称 | 参数值 |
在连续表面上,相邻二象素之间 没有大于1 / 4 波长的高度突变时 |
1000 一1nm |
相邻二象素之间含有大于1 / 4 波长 的高度突变时 |
130 一1nm |
测量的重复性 | Ra 0.5nm |
物镜倍率 | 40X |
数值孔径 | 65 |
工作距离 | 0.5mm |
仪器视场 目视 | 0.25mm |
摄象 | 0.130.13mm |
仪器放大倍数 目视 | 500 |
摄象(计算机屏幕观察) | 2500 |
接收器测量列阵 | 1000X1000 |
象素尺寸 | 5.25.2m |
测量时间采样(扫描)时间 | 1S |
仪器标准镜 反射率(高) | ~50 % |
反射率(低) | ~4 % |
照明光源 | 白炽灯6V 5W |
绿色干涉滤光片波长 | ?530nm |
半宽度 | ?10nm |
主显微镜升程 | 110 mm |
工作台升程 | 5 mm |
X 、丫方向移动范围 | ~10 mm |
工作台旋转运动范围 | 360 |
工作台顷斜范围 | 6 |
计算机系统 | P4 , 2 .8G 以上,内存1G以上17寸纯平显示器 |
产品品牌:
产品型号:
产品规格: