产品特点及用途 |
结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪,不需要复杂光路调整程序、兼顾体积小、纳米分辨率、、易学易用等优点、可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量,适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含: |
★ 晶圆(Wafer)★ 光盘/硬盘(DVD Disk/Hard Disk)★ 微机电组件(MEMS Components)★ 平面液晶显示器(LCD)★ 高密度线路印刷电路板(HDI PCB)★ IC封装(IC Package) 以上其它材料分析与组件微表面研究 |
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