VAKIA-ILC系列连续式ITO导电玻璃真空镀膜生产线

ITO透明导电玻璃是利用先进的真空磁控溅射镀膜技术在玻璃的单面或双面镀上透明氧化铟锡(Indium-Tin Oxide， ITO)导电薄膜所得到的镀膜制品，是生产电阻式和电容式触摸屏的关键材料。ITO作为纳米铟锡金属氧化物，具有很好的导电性和透明性，可以切断对人体有害的电子辐射，紫外线及远红外线。应用于液晶显示器时，还会在镀ITO层之前镀一层二氧化硅阻挡层，以阻止玻璃基片中的离子扩散到导电层。对透过率有更高要求时，可在镀ITO导电层之前增镀AR减反射膜，成为高透ITO导电玻璃。

生产线特点：

（1）       设备类型：立式连续磁控溅射镀膜线

（2）       膜层均匀性：在有效沉积区域内，膜层厚度均匀性≤ 5%

（3）       阴极结构设计：采用中频孪生旋转阴极，靶规格视产品而定

（4）       传动模式：采用小车传动方式。整条生产线的各段速度采用变频调速电机驱动，运行速度可调节。

（5）       镀膜温度控制：可按客户要求采用不同加热方式，控温稳定度为

（6）       控制系统：采用组态软件与PLC的结合模式，实现人机对话，对生产过程能进行必要的及时干预。运行过程中有报警提示和故障显示。