激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。
气体激光器的特点,激光工作物质是混合气或单一纯气体因此,对激光混合气组分的纯度有着要求,包装混合气的钢瓶,充装前也须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将氦氖激光作为气体激光,二氧化碳激光气体激光,在半导体制造领域将使用的氟化氪激光,可称为三代激光。激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。