四氟化碳又称四氟甲烷、氟利昂14

四氟化碳 R14

 产品名称 PRODUCT NAME

 四氟化碳 R14

四氟化碳又称四氟甲烷、氟利昂14

Carbon tetrafluoride R14

CAS 号：75-73-0

 分子式：CF4

物理性质 PHYSICAL PROPERTIES

熔点  -183.6℃

 沸点  -128.1℃

 液体密度 （-130℃）1.613g/cm3

临界温度  -45.67℃

临界压力 3.73MPa

 临界密度 7.1dm3/mol

 在常温下，四氟化碳是无色、无臭、易压缩性气体，具有很高的稳定性，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水。属于完全不燃性气体。

 应用范围 APPLICATION SCOPE

 四氟化碳可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、航天技术、金属冶炼、气相绝缘、低温制冷等诸多方面大量使用。另外，近期研究发现，四氟化碳的溶氧性很好，可用于超深度潜水代替压缩空气，目前该试验已获得成功。

质量指标 QUALITY STANDARD

CF4， ％（V/V）≥99.99999.99599.99N2， 10-6(V/V) ≤42040O2， 10-6(V/V) ≤1510CO2， 10-6(V/V) ≤1510CO， 10-6(V/V) ≤0.30.51SF6， 10-6(V/V) ≤115H2O， 10-6(V/V) ≤1510HF， 10-6(V/V) ≤0.10.30.3TFC(CH2F2、CHF3、C2F3、C3F8)，10-6(V/V) ≤11030总杂质含量 ppm (V/V) ≤1050100 

包装规格 PACKAGE

产品采用钢质无缝气瓶多种规格系列化包装，满足不同用户需求

钢瓶规格 DOT/48.8 L  DOT/47L 40L  10L  4L

瓶阀型号 CGA580（正丝）  CGA590（反丝）  CGA320  DISS716