​IXITON-193SLM激光器
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​IXITON-193SLM激光器
北京汉达森机械技术有限公司
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天津 河东区

IXITON-193SLM激光器

产品介绍:

IXITON193SLM是一种单频全固态激光系统,适用于光学计量、193nm步进光学器件校准或高功率ArF准分子激光器的带宽控制等应用。光谱带宽接近其理论傅立叶极限。

该系统的中心波长可在185-194nm范围内定制,并可在订购时配置为固定波长。


产品用途:


193纳米计量

光谱仪校准

干涉测量法

准分子激光器的注射接种


IXION-193SLM


波长:193.368nm

平均功率:10毫瓦

脉冲持续时间典型:8-12ns

每脉冲能量:1.6µJ

重复频率:1-15kHz

光束质量:M²<1.6

频谱带宽:<80MHz

光谱可调:>10pm

相干长度:>2m

脉冲到脉冲:σ<2.5%