IXITON-193SLM激光器
产品介绍:
IXITON193SLM是一种单频全固态激光系统,适用于光学计量、193nm步进光学器件校准或高功率ArF准分子激光器的带宽控制等应用。光谱带宽接近其理论傅立叶极限。
该系统的中心波长可在185-194nm范围内定制,并可在订购时配置为固定波长。
产品用途:
193纳米计量
光谱仪校准
干涉测量法
准分子激光器的注射接种
IXION-193SLM
波长:193.368nm
平均功率:10毫瓦
脉冲持续时间典型:8-12ns
每脉冲能量:1.6µJ
重复频率:1-15kHz
光束质量:M²<1.6
频谱带宽:<80MHz
光谱可调:>10pm
相干长度:>2m
脉冲到脉冲:σ<2.5%