该设备完整循环包括了如下阶段:
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腔体真空:腔体的大气压力至多<= 25mbar
ABS,后者为可设定的参数值。 达到设定的真空值后,真空腔会和分析回路联通。
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检查堵塞:腔体内加载工件可以用低压空气增压,从而检查阻塞情况,为了进行该检查,需要使用负荷对侧安装的简易压力传感器,或者更加高端的流体传感器,后者可以检查测试工件的准确流量。
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高压加载:在腔体抽真空的同时,设备还会利用压力至多为可设定参数 的干燥空气或者高压氮气来加载工件。
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检查降压:元件必须隔离,从而确认内部的压力回升低于设定值。
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工件真空:在确认了压力下降后,工件必须抽空,从而避免造成空气/氦气混合,或者改变了氦气测试增压用的氦混合物百分比。
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氦气填充:进一步抽空的元件必须利用氦气加压,其压力为用户为后续“损耗研究”阶段设置的数值。
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损耗研究:溢出元件的氦气数量测量以及和设定废弃阈值的对比
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氦气排空:在“损耗研究”阶段结束后,设备就会排空工件的剩余氦气,将工件置于大气压力下。如果有规定,排出的氦气必须输送到一个收集器内。
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腔体通气:一旦大气压力到达了工件,此时通过通气阀,腔会被置于大气压力下,随后打开并卸载测试工件。
上述描述是标准的氦检循环。依据设备的功能,还可以用嗅探器法进行试车。嗅探器检漏要求只能用低压氦气进行元件增压,而“损耗研究”需要由连接适当接口的嗅探器以及质谱仪的辅助。