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喷涂氧化铌靶材 Spray NbOx Target
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产品说明
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以等离子体为热源将Nb2O5粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层,从而制备出高纯度、高致密度NbOx靶材。
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项目 Item参数 Specifications检测手段 Testing method纯度 Purity≥99.9% 密度 Density≥4.7 g/cm3 阿基米德密度仪
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Archimedes densimeter杂质含量
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Impurities
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Ta: ≤200 ppm
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Si: ≤80 ppm
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Fe: ≤80 ppm
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Al: ≤30 ppm
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W: ≤30 ppm
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Cu: ≤30 ppm
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杂质总和 (Total impurity):≤1000 ppm化学分析
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Chemical analysis电阻率 Electrical resistivity≤0.2 Ω∙cm四探针电阻率仪
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建议功率
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15 kw/m
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背管材质
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-选用304/316L不锈钢(无磁)。
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靶材尺寸Dimension
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-按照图纸要求加工
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应用领域
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-主要用于LOW-E镀膜玻璃,薄膜太阳能电池电极膜系,TFT-LCD,半导体电子。
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产品品牌:
产品型号:旋转靶/平面靶
产品规格:按客户需求定制