氧化钛/氧化锆靶材 高纯4~6N low-E玻璃镀膜 可定制

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喷涂氧化钛/氧化锆靶材 Spray TiOx/ZrOx Target
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<strong>产品说明</strong>
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以等离子体为热源将相应粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层，从而制备出高纯度、高致密度TiOx，ZrOx靶材。
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氧化钛靶材TiOx target项目 Item参数 Specifications检测手段
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Testing method纯度 Purity≥99.9% 密度 Density≥4.0 g/cm3阿基米德密度仪
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Archimedes densimeter杂质含量
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ImpuritiesSiO2: ≤100ppm
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P2O5: ≤10 ppm
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SO2: ≤60 ppm
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Cu: ≤18 ppm
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Fe: ≤80 ppm  
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杂质总和 (Total impurity): ≤1000 ppm化学分析
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Chemical analysis
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电阻率 Electrical resistivity≤50 mΩ∙cm四探针电阻率仪
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Four probe resistivity meter
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氧化锆靶材ZrOx target项目 Item参数 Specifications检测手段 Testing method纯度 Purity≥99.9% 密度 Density≥5.4 g/cm3 阿基米德密度仪
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Archimedes densimeter杂质含量
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Impurity content
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Al: ≤100 ppm
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Cr: ≤50 ppm
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Ti: ≤100 ppm
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Fe: ≤200 ppm  
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杂质总和 (Total impurity): ≤1000 ppmICP电阻率 Electrical resistivity≤0.5 Ω∙cm四探针电阻率仪
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Four probe resistivity meter
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背管材质 
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-选用304/316L不锈钢（无磁）。
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靶材尺寸
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-按照图纸要求加工
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应用领域
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-光学玻璃AR膜系
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-LOW-E镀膜玻璃 
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-工具镀膜和装饰镀膜 
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