电子束蒸发源

<p>
●超高真空兼容
</p>
<p>
●蒸发温度不小于3000℃
</p>
<p>
●线性推进：0.01mm，25mm行程，特殊设计
</p>
<p>
●内置挡板，不受空间限制完全打开
</p>
<p>
●可靠的束流监控，有效避免外界电磁场影响
</p>
<p>
●填料方便快速
</p>
<p>
<br>
</p>
<p>
安装法兰DN40CF (O.D. 2.75'' )
</p>
<p>
烘烤温度200℃腔内直径34mm
</p>
<p>
腔内长度210 mm标准长度， 170mm~400mm 可选长度
</p>
<p>
源数量1
</p>
<p>
样品类型棒材，颗粒，粉末（可供坩埚）
</p>
<p>
冷却方式内部水冷, 1L/min
</p>
<p>
束流监控范围0.1nA~1mA灯丝电流0~7A (10mA step)
</p>
<p>
加速电压0~2000V最大功率250W
</p>
<p>
束流发散度±6°蒸发温度≥3000℃
</p>
<p>
坩埚尺寸0.1cc坩埚材料钨，钼，钽，石墨，可定制其他材料
</p>
<p>
棒材尺寸直径1~4 mm，长度20~100mm
</p>