技术指标：

进气口法兰（ISO-KF） DN40 排气口法兰（ISO-KF） DN16

抽速速率（L/s） N2：22  He：18  H2：11  Ar：25 压缩比 N2: 1E6  He：1E2  H2：1E2  Ar：1E6

极限压强（Pa） 1E-4 最大连续前级压强（Pa） 500

最大前级压强（Pa） N2：1000 最大气载量（sccm） N2：23  He：18  H2：12  Ar：28

额定转速（RPM） 36000 启动时间（min） ≤3

冷却方式 风冷 电源电压（VAC） DC24/AC220

最大功率（W） 70 适配电源型号 TD-25/TCP-100/TC-100

建议前级泵（L/s） 0.5～1 重量（kg） 3

应用领域：

硅刻蚀、玻璃镀膜、PVD镀膜、科研应用、表面分析、加速器、太阳能、热处理