1型号：XHDL

2镀膜室：真空室结构，卧室方形

3极限压力：9x10-4pa

4工作压力：2.5x10-1怕（可调）

5抽真空时间（空载）：大气到8x10-3pa≤30min

6抽真空时间（带载）：大气到8x10-3pa≤60min

7运行速度：50-100m/min

       深圳市星海威真空设备有限公司是上市公司深圳市新益昌科技股份有限公司投资成立的子公司。公司主要从事新能源/新材料､ 光电/半导体芯片､ 航空航天等行业的核心真空装备的研发和制造，致力于为客户提供高品质的真空设备和服务。 

        QVD技术（量子薄膜沉积）涉及领域有： 第三代半导体的长晶炉、处延；各种光学光电薄膜； Topcon、HJT、钙钛矿等光伏设备。

联系人：段先生

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