物理化学性质
外观 无色透明液体(工业级可能微浑浊)
气味 刺激性酸味
密度(40%溶液) 1.13 g/cm³(20℃)
沸点 112.2℃(38.2%共沸溶液)
熔点 -83.6℃(无水)
溶解性 与水无限混溶,腐蚀玻璃/硅酸盐
电离常数(Ka) 3.5×10⁻⁴(弱酸特性)
蒸气压(20℃) 14.3 kPa(48%溶液)
主要用途
(1)工业应用
金属加工:
不锈钢酸洗
铝合金表面处理
化工生产:
氟化物合成
制冷剂(R22)制造
(2)电子工业
半导体制造:
晶圆清洗(去除氧化物)
集成电路蚀刻
光伏产业:
太阳能电池板表面处理
(3)其他领域
玻璃蚀刻:艺术玻璃/仪器刻度制作
石油工业:烷基化催化剂
(1)健康危害
皮肤接触 延迟性灼伤(1-24小时发作),深达骨骼
吸入 肺水肿/气道坏死(TLV-TWA 0.5 ppm)
食入 消化道穿孔+全身氟中毒
(2)防护要求
工程控制:
全封闭操作+负压通风
防渗漏工作台(聚乙烯材质)
个人防护:
氟橡胶手套(≥0.5mm厚)