市场背景
功率器件特别是IGBT在工业控制及自动化、新能源汽车、电机节能、太阳能风能发电等领域都有极其广泛的应用。随着我国新能源领域的不断发展，新能源车和光伏、风电这两大市场将成为IGBT的发力点。
IGBT行业存在巨大供需缺口，下游细分行业不断扩大、需求量不断上升使得“国产替代”将会是未来IGBT行业重要的发展方向。
IGBT2020年自给率达到约18%，预计2024年可达40%。国内企业在政策、市场等因素的共同作用下迎来大好发展机遇。
ULVAC溅射技术实绩
ULVAC面向功率器件的溅射设备有150台以上的销售实绩
日本本土IGBT领域100%占有率
20年以上的Thin Si-Wafer对应实绩
ULVAC技术优势
一、Ni应力高，基板易翘曲，使薄Wafer的搬送变得更加困难。ULVAC溅射设备通过special stage的设计调整应力、缓和应力，可以抑制翘曲，从而实现更稳定的镀膜和搬送。
ULVAC溅射设备可对应NiV和Ni镀膜
二、多样的设备构成方案：可以根据膜种和要求提供各种设备构成提案，multi cathode Carousel设备可以减少chamber数，实现成本控制。
三、高可靠性焊锡溅射（取代Au溅射），可实现材料成本减半。替代Au层，直接溅射焊锡层。
热循环测试、1个循环：-40°C×30min，125°C×30min。焊锡溅射在1000个循环结束后，仍获得了与常规工艺相同甚至更好的接合强度。
假设常规工艺的膜材料成本为1，对无Au新工艺的成本进行了估算，与传统的Au溅射相比，焊锡溅射可以降低约50%的膜材料成本。
ULVAC设备解决方案
