磁控溅射技术是在建筑玻璃和汽车玻璃等应用中公认且最经济的沉积光学薄膜方法。这项技术是大约40年前在玻璃行业建立起来的。它的成功和工业上的突破是来自于大面积镀膜宽度达3.2米的平面磁控管的开发。今天,溅射镀膜技术已经普及到世界各个地区。通常,旋转靶已成为标准配置。但即使在今天,平面靶在市场上仍有位置和需求。是什么原因呢?
建筑玻璃镀有一层薄的银,并且在银膜上下各附加介电氧化物和氮化物层时,它是最有益的。这样可以具有引人注目的美学和良好的耐用性。这种膜层限制了玻璃表面的热辐射损失,故被称为“低辐射率”(或Low-E)膜层。在双层玻璃内的玻璃表面添加一层厚度约为100个原子的银足以将热损失减少三倍!建筑几乎占所有经济体能源需求的40%,当考虑到每天有关气候变化和能源供应的新闻时,我们可能会理解这项无形技术的重要性。
银是建筑玻璃最重要和最昂贵的膜层材料。Low-E膜层约三分之二的目标材料成本用于其中的银。此外,贵金属股票市场上的白银价格也在不断变化。因此,生产商很难预测生产成本。
几十年来,最实惠、性能最高的靶材制造技术仅限于平面靶材。最近,在一些国家也可以使用银旋转靶。但据估计,银旋转靶在大面积镀膜领域的市场份额低于5%,即使旋转靶的靶利用率要高得多(80%对标33%)。但残留的平面靶和旋转靶的银都可以回收以制造新靶。
那么,为什么即使在经过40年的时间之后,市场仍然依赖平面磁控管呢?一方面,平面靶的回收是一个成熟流程,且银管的制造成本略高,这是成本驱动商品市场的一个制约因素。另一方面,银旋转靶在世界许多地区根本不可用,这是因为相关的制造技术专有技术仅在美国、欧盟和日本可用。所以,跨越海关边境出口大量贵重的银旋转靶是一场商业和物流噩梦。如果考虑到需要回收未使用的银,这是理所当然的,一个靶含有150公斤以上的银。
镀膜设备市场上的许多供应商仍在提供自90年代末以来没有改变的平面磁控管设计。然而,冯阿登纳在过去五年中更新了我们的平面磁控管设计。因此,客户真正受益于进一步使用平面银靶。较厚的靶材(35毫米及以上)和优化的磁场设计将靶材寿命提高了约50%。除此之外,靶材利用率从30%提高到35%以上。同时,优异的初始单层均匀性现在几乎可以在整个靶材寿命中保持。这些措施为我们的客户们,镀膜制造商带来了真正的好处,因为银在连续镀膜作业的最大持续时间仍然是焦点。
如果您想了解更多关于冯阿登纳高利用率平面磁控管HU-WSM的信息,请联系我们的销售人员:teng.bo@vonardenne.biz