压缩空气!腐蚀气体!进入液体!MFC怎么办?
1、MFC通入压缩气体
如果需要通入压缩空气，建议安装干燥器，这是因为压缩空气会产生冷凝水，容易造成产品损坏。
2、MFC通入腐蚀气体
使用腐蚀性气体（HCL/H2S/CL2/SO2/NH3等），要保证管路的密封性，建议使用不锈钢管路，并避免和空气接触，通完腐蚀性气体后，须用惰性气体至少吹扫十分钟。
3、通过MFC的气体要通入液体反应或高压系统
当遇到控制气体需要直接通入液体反应或通入高压 系统，要防止液体或尾气倒流，建议在后端增加单向阀，并保证进气压力大于后端压力。
注意：
气体流量计/流量控制器只能通气体，含有液体的气体勿通入，一旦污染，无法正常使用；
一旦判断产品内部返进液体，可用惰性气体吹扫30分钟以上，并确保吹干，测试是否可控，若仍不可控，则需要返厂返修。