一、RMG-1303是适用于RF溅射、CVD、刻蚀等，等离子工艺的13.56MHz，300W功率的匹配器一体式RF电源。
匹配器和RF电源一体化设计，体积小、重量轻。适用于从研究开发设备到量产设备的广泛领域。
二、
可通过低输出功率进行控制
可通过1W的低输出功率进行控制
标准配备脉冲RF输出功能
标准搭载500Hz～100KHz的脉冲RF输出功能，可在低功率下进行控制
标配外部同步端子
标准搭载端子（BNC端子），用于叠加操作的13.56MHz同步信号的输入和输出
AC100V~AC220V的广泛输入
单相100V~220V/50Hz~60Hz的广泛输入
体积小、重量轻
200mm×200mm×350mm/10Kg的小型轻量化电源
支持各种规格
RoHS、CE、KC、SEMI-F47兼容
三、
溅射设备
CVD设备
等离子清洗设备
等离子刻蚀设备
等离子去胶设备
RF离子源
射频中和器
四、
