AMC空气分子污染物Mc监测系统

连续监测@ sub ppb级

醋酸、草酸 、胺类、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷（HMDS）、邻苯二甲酸二辛酯（DOP）、邻苯二甲酸二丁酯（DBP）、邻苯二甲酸二乙酯（DEP）、异丙醇、丙酮、硼酸三甲酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有机物 

原理：

空气分子污染物 (AMC) 对于高科技生产过程是关键性因素，特别是微电子行业，有机污染物是生产过程中的消极因素，会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。

无空气分子污染物生产是理想的生产目标，通过污染物源头控制、传播控制，实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现，持久监测AMC浓度，有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。

特点：

在线连续质量监测全部自动化系统
低浓度VOC监测
独立分开测量有机物成份
Sub-ppb检测限
集成计算机和控制软件以及数据采集与处理功能

应用：

洁净间污染物监测
过滤器状态监测
加工过程全组份测量诊断污染物

空气分子污染物问题:从洁净间到生产机台加工 
随着IC产品生产成本的增加，空气分子污染物AMC的监测变得越来越重要。

污染物从加工到超净间的扩散，并且成份的增加，分子污染物来自多个源头，比如生产化学药剂、建筑材料、洁净间设备装置、操作人员等。
 
阿瑞斯-µVOC  系统意味着潜在鉴别空气分子污染物与产生污染问题和减少污染问题之间的关联，完整的全量程全组份实时sub-ppb级测量，提供早期AMC监测和快速确定这些污染问题的原因。

特性：

工作原理:GC-FID

测量量程:0-200 ppb

准确度：2%

尺寸 (HxWxD)：160 cm x 60 cm x 80 cm
防护等级：Nema 12 或IP54不锈钢外壳
工作温度:10°C—35 °C
通讯:RS-232, Ethernet, ODBC
电源:230 Vac, 50/60 Hz 900W
供气要求:CDA 5 l/min H2 130 sccm (可选H2发生器)
采样通道:高达16
分辨率:0,1 ppb
测量组份:高达30, 客户可定制

可测组份：

2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH
2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH
异丙醇 （CH3）2CHOH
乙醇胺 H2NCH2CH2OH
环己胺 C6H11NH2
环聚二甲基硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)n
对二氯苯 ClC6H4Cl
邻苯二甲酸二壬酯 C6H4(C=OOC9H19)2
邻苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2
十甲基环五硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)5
二甲苯 (CH3)2C6H4  
三甲基硅醇 C3H10OSi 
（t-乙酸丁脂）二羟基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH
六甲基二硅胺烷 （CH3）3SiNHSi(CH3)3
二乙氨基乙醇 (C2H5)2NC2H5OH
邻苯二甲酸二辛酯 C6H4(C=OOC8H15)2
邻苯二甲酸二乙酯 C6H4(C=OOC2H5)2
邻苯二甲酸二丁酯 C6H4(C=OOC4H9)2
三乙胺（C2H5）3N
邻苯二甲酸二环己酯 C6H4(C=OOC6H11)2
磷酸三乙酯 （C2H5O）3P=O
十二甲基环五硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)6
三甲酚磷酸酯 （CH3C6H4O）3P=O
------等等