铋靶高纯铋99.99%纯度科研用
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铋靶高纯铋99.99%纯度科研用

发货
山东省 德州市
规格
φ25.4mm*4mm
领科元素(山东)技术有限公司
领科元素(山东)技术有限公司
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山东省 德州市

1、高纯铋靶材加工工艺流程

    

 

原料检测

 

   

 

 

机加工成型

选用进口或

国产高纯

 

碳硫分析仪,氧氮分析仪,ICPXRD,GDMS

 

热等静压,真空感应熔炼

电子束熔炼,悬浮熔炼等

 

晶粒细化

 

切割,磨床铣床,车床,CNC。

成品检测

 

   

 

探伤扫描

 

    

 

包装出库

 

交付客户

检测成品外观尺寸公差

 

金属化

  

 

 

 

 

 

专用包装

 

 

2、应用领域机设备

2-1 适用设备:适用于北方华创、中科科仪、沈阳科仪、中电科、微电子所、南光机器厂、金盛微纳、泰科诺Kurt J.Lesker 爱发科、丹顿真空等各种单靶溅射系统,多靶溅射系统,离子溅射系统等磁控溅射设备

2-2 应用领域:生产及科研方面应用,光学,微纳加工,器件等行业,广泛用于半导体芯片、太阳能光伏 、平面显示、特种涂层等镀膜产品。

3、靶材规格

3-1 材质:Bi Target)

3-2 纯度:99.99%,99.999%,99.9999%

3-3 晶粒度:45微米

3-4 尺寸:Φ25,30,40,50.5,60,76.2,80,100,101.6mm,T:0.2-10mm等。

3-5 密度9.80g/cm³

3-6 表面粗糙度:Ra≤0.8um(溅射面),Ra≤6.4um(做金属化)

3-7 外观:目视检查无破损、划伤、污迹、裂纹等在使用上有害的缺陷。

4、金属化(BSM)

4-1 种类:金属化材料为纯铟或银(镀膜)

4-2 粘接度:表面均匀,无气孔,粘接牢固

4-3 检测:用3M胶带测试

5、包装及运输

5-1 无油、指纹等的污迹

5-2 包装材料要保证包装内的货品不污染、破损。

5-3 包装材料采用靶材专用真空包装袋,靶材包装盒。

5-4 运输时,靶材放于专用木箱或纸箱里,包装内侧用珍珠棉严格保护起来。

5-5 运输要注意避免破损或污染。

6、标识

6-1 靶材的品名、纯度、规格、批号、制造日期贴在包装袋外侧。

7、出货报告

靶材报告上分别记载有检查结果表

检查项目

检查方法

7-1外观(制造商名称、编号、名称)

目视

7-2尺寸

游标卡尺,千分尺

7-3靶材光洁度

光洁度对照块

7-4金属杂质(Fe,Ni,Ti,Cr,Mg,AI,Cd等)

ICP,GDMS

7-5气体杂质(O/N/C/S)

LECO,碳硫分析仪,氧氮分析仪

7-6组成

ICP

7-7弯曲度

直线视、间隙测量仪

7-8净重

电子称

7-9毛重

电子称

8、储存 

8-1需储存于手套箱,氮气柜,干燥环境,密封包装,轻拿轻放防压防撞