2013年中国LED行业MOCVD总保有量从2012年的917台增加到1017台，同比增长11%。保有量受到老机台主动退出的影响，2013年实际新增MOCVD台数量超过130台。
2012年中国MOCVD产能利用率仅30%左右，开机率仅50%左右。在下游照明应用市场的需求拉动下，2013年中国外延芯片企业产能利用率上升明显。MOCVD产能利用率上升至52%，开机率也上升到70%左右。
2013年新引进的MOCVD中，4寸MOCVD的比重大幅度上升，同时部分企业将2寸MOCVD升级到4寸MOCVD，截至2013年年底4寸MOCVD的实际产能占比已经超过30%。