X轴压电陶瓷扫描台-上海纳动纳米位移技术有限公司

产品描述

显微镜中的物镜对准通常需要一个开放的中心空间（例如，用于光线通过），PK1L60-080U压电扫描台（带有25mm的中心孔）是针对此类应用而开发的，每个轴都经过机械预加载。独特的产品设计非常紧凑，在X运动轴上的运动可达80µm（闭环），并且由于柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动。

可以选择使用集成的SGS测量系统来克服迟滞的影响，并且PK1L60-080U定位系统可以配备电容测量系统，PK1L60-080U压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。

PK1L60-080U系列非常适合从光学研究到OEM系统的各种应用。

本系列产品种类包括X、Z、XZ、XY、XYZ轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。

选配功能

—可定制转接装置及中心孔径大小

—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度

—可选配闭环(SGS) 位置反馈系

—可选择Z、XZ、XY、XYZ轴版本

应用领域

—光纤定位

—镜头聚焦

—掩模、晶圆定位

—干涉法测量技术

—纳米操纵