分子束外延系统

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技术参数  / TECHNICAL DATA   
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CMP-MBE：8英寸不锈钢球形真空腔体
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本底真空&lt;1×10-10 mbar
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四轴高低温样品台:
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X/Y方向移动：±5mm；
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Z方向移动：150mm；
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轴向旋转：±180°；
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高温：1300K（电子束加热）；
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低温：100K（液氮冷却）。
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蒸发源5个
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离子枪:2~5KeV离子枪，配备Port Aligner
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可选项
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（1）QCM；（2）红外测温仪；（3）反射式高能电子衍射仪 
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