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本底真空 ≤5×10-10Torr
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工作温度范围 8K-290K
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扫描范围 4.0×4.0×0.6µm @ RT   1.0×1.0×0.15µm @ 8K
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分辨率原子级别分辨率灵敏度  XY: ≤200Å/V   Z:≤30Å/V @ RT  
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XY: ≤ 50Å/V   Z:≤ 7.5Å/V @ 8K
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低温恒温器类型持续流
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冷却时间~2h
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液氦消耗率1L/h
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热漂移≤0.01K/h
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