样品台
光耦合兼容模块化设计,可扩展qPlus AFM功能
最低工作温度≤5K
X/Y/Z粗移动范围2×2×8mm
X/Y/Z扫描范围6×6×2μm @ RT1.5×1.5×0.5μm @ LHe
低温维持时间≥50h(液氦容积4L、液氮容积15L)
温度漂移<0.2nm/h分辨率原子级分辨率
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