低温扫描探针显微镜-分子束外延联合系统
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低温扫描探针显微镜-分子束外延联合系统

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北京 怀柔区
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中科艾科米(北京)科技有限公司
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样品台



光耦合兼容模块化设计,可扩展qPlus AFM功能



最低工作温度≤5K



X/Y/Z粗移动范围2×2×8mm



X/Y/Z扫描范围6×6×2μm @ RT1.5×1.5×0.5μm @ LHe



低温维持时间≥50h(液氦容积4L、液氮容积15L)



温度漂移<0.2nm/h分辨率原子级分辨率