● 腔体最高加热400℃，控温精度±1℃
● 复杂管气路，可最多具备八种前驱体、两路氧化还原气路和三路载气
● 设计独特的高温鼓泡器，可提高低蒸气压固态源反应效率和重复性
● 自动化控制系统，可自行编程实现不同类型ALD样品生长
● 控制系统带安全互锁报警功能
● 采用PID自动控温，带模糊算法自整定
● 全金属密封，适用于腐蚀性反应
● 实时测控气体流量和监测真空度
● 在线原位分析气体成分
● 自带臭氧发生器，反应残留物热分解装置
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