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安装法兰DN40CF 烘烤温度200℃ 腔内直径36mm 腔内长度210mm 加热方式钽丝加热 温度稳定性三温区独立控温，控温精度可达±0.1℃ 温度测量K型热偶 源数量1 坩埚材料PBN、石英等
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坩埚容积标准：35cc（可定制50cc等） 冷却方式一体式分段水 冷挡板手动挡板（可选气动） 挡板距离DS≤15mm（可调） 水冷流速 30L/h
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裂解区300~1100℃,除气≤1200℃中温区200~700℃,除气≤750℃坩埚区100~600℃,除气≤650℃
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