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●7寸彩色触控屏
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●可最多6路同时监测/控制
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●曲线显示膜厚，生长速率及质量（MASS）
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●高稳定基准，高精度
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●测试数据一键保存
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●远程控制和诊断，支持固件升级
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●多层膜工艺流程控制，支持共沉积
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