该生产线采用模块化设计,方便日后的扩展升级,并配备多组大型磁控阴极,可适用于多种膜系结构的组合。全自动化控制和高稳定性的传动系统,可与机械手无缝对接,实现连续稳定的流水线作业,确保生产节拍快,产量大。此外,该生产线还支持从研发到小规模生产的负载锁定式溅射涂层设备,以及将碳基涂层工艺和真空镀膜设备技术的长期经验应用于燃料电池金属双极板,通过等离子体表面清洁和特殊结合层工艺,获得结合力、导电性和耐腐蚀性良好的贵金属涂层和SCG涂层。
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