中科艾科米（北京）科技有限公司

分子束外延系统

变温扫描隧道显微镜系统

低温扫描探针显微镜-分子束外延联合系统

原子层沉积系统

电子束蒸发源

三温区裂解源

标准蒸发源

电子束加热蒸发源控制器

多功能温度控制器

膜厚控制仪/监测仪